Применение вольфрамовых рамок в полупроводниковой промышленности-Luoyang Hypersolid Metal Tech Co.,Ltd

Добро пожаловать на официальный сайт компании «Лоян Хиперсолид Метал Тех Ко., Ltd.»

sales@hypersolidmetal.com

+86 15038522042

Лоянская компания по производству гипертвердых металлических изделий, ООО

Главная
Продукция
О нас
FAQ
Новости
Контакты

Поиск

Language

Главная страница

Назад к обзору

Применение вольфрамовых рамок в полупроводниковой промышленности

Mar 27,2026

Вольфрамовые каркасы широко применяются в полупроводниковой отрасли, прежде всего в таких критически важных процессах, как высокотемпературная обработка, работа в вакууме, нанесение тонких пленок, травление и диффузия. Основной принцип этого применения заключается в использовании ключевых свойств вольфрама: исключительной устойчивости к высоким температурам, стойкости к деформации, отсутствии загрязнения, низкой степени газовыделения и высокой чистоты.

Основные области применения вольфрамовых рамок в полупроводниковом производстве:
1. Покрытие пластин / PVD (физическое осаждение из паровой фазы)
Это одно из наиболее типичных применений вольфрамовых рам.
Используются в качестве подложек для пластин, приспособлений, теневых масок и экранирующих колец.
Во время процессов напыления (например, для алюминия, меди, титана, нитрида титана и т. п.) они фиксируют пластину и предотвращают неравномерное покрытие по краям.
Требования: вольфрам высокой чистоты (W ≥ 99,95%); при высоких температурах не должен выделять примеси и загрязнять пластину.
2. Печи для химического осаждения из газовой фазы / эпитаксии / высокотемпературной диффузии
Внутри труб высокотемпературных печей вольфрамовые каркасы используются в качестве лодочек, опор и несущих рам:
Они осуществляют обработку пластин методами окисления, отжига, легирования и эпитаксиального роста.
Рабочие температуры обычно варьируются от 800°C до 1200°C, а иногда и выше.
Вольфрам обладает высокой прочностью, устойчивостью к размягчению и низким коэффициентом теплового расширения при высоких температурах, что обеспечивает отсутствие деформации и смещения пластин.
3. Оборудование MOCVD
Вольфрамовые компоненты широко применяются в эпитаксиальном выращивании светодиодных чипов и силовых приборов:
Вольфрамовые рамы, поддоны и пьедесталы.
Используется для поддержки сапфировых или карбидных кремниевых подложек.
Они обладают высокотемпературной стойкостью, коррозионной стойкостью и химической инертностью по отношению к реакционным газам, что обеспечивает высокое качество эпитаксиального слоя.
4. Оборудование для травления и компоненты вакуумной камеры
Внутри камер сухого травления:
Вольфрамовые каркасы используются в качестве экранирующих элементов, облицовочных вкладышей, электродных каркасов и зажимных колец.
Они выдерживают плазменную бомбардировку и устойчивы к коррозии, вызванной травильными газами на основе фтора или хлора.
Вольфрам высокой чистоты предотвращает металлическое загрязнение, тем самым обеспечивая высокий выход продукта в процессе.
5. Приспособления для ионной имплантации и термической обработки
Крепёжные рамы для пластин, радиаторы и экранирующие крышки.
Благодаря высокой плотности вольфрама эти компоненты блокируют ионы с высокой энергией и минимизируют загрязнение за счёт рассеяния.
Вольфрамовые сплавные рамы также широко используются в оборудовании для быстрого термического обработки (RTP).
6. Полупроводниковая упаковка / Керамическая упаковка
Вольфрамовые проводниковые рамки и армирующие рамки, используемые в керамических корпусах и сборках интегральных схем.
Коэффициент теплового расширения вольфрама (КТР) closely matches that of ceramics and glass, preventing package cracking.
Обладая превосходной герметичностью и высокой механической прочностью, они применяются в устройствах с высокой надёжностью (например, в космической, авиационной и военной отраслях).